Thickness Gauging ABB
Производитель:ABB
Технические характеристики
Измерение и аналитика
Процесс калибровки для калибровочных пластин «MTG» включает два этапа. Первый этап это калибровка эталонных пластин, используемых компанией «ABB». На втором этапе производится калибровка калибровочных пластин, которые входят в комплекты поставки систем «MTG».
Первичные эталоны, используемые компанией «ABB» для калибровки эталонных пластин, это измерительные блоки, калиброванные по таблицам Государственного (Национального) стандарта: NIST, PTG или NMIJ.
Первый этап калибровки происходит в точном механическом измерительном устройстве. Измерительный аппарат на базе Mitutoyo Laser Hologage разработан и произведён компанией «ABB» для достижения высокой точности.
На втором этапе калибровки калибровочные плитки калибруются методом прямого сравнения с эталонными плитками. Сравнение производится с помощью стандартного измерителя «MTG».
Указанная неопределенность калибровки для калибровочных пластин рассчитывается как корень среднего квадрата различных источников неопределенности, с коэффициентом охвата 2. Для достижения минимально возможной суммарной неопределенности, источники неопределенности на уровне 0,01 мкм следует считать значительными.
Системы «MTG» для толщинометрии (Толщиномеры «MTG»)
Точность эталонных плиток в компании «ABB»
Для эталонных плиток выбирают самые плоские, гладкие и равномерные по толщине. Затем из ровняют и полируют до зеркальной поверхности.
В калибровке опорных эталонных плиток учитываются следующие источники неопределённости:
- Изменение размеров в раме механического измерительного аппарата из-за механической нагрузки и температуры окружающей среды.
- Нелинейность измерителя Mitutoyo Laser Hologauge
- Повторяемость при измерении калибровочных блоков и эталонных плиток
- Упругая деформация измерительных блоков и опорных эталонных пластин
- Коррекция температурного расширения измерительных блоков и опорных эталонных плиток.
- Коррекция неровности поверхности опорных эталонных плиток и колебаний толщины на измеряемой площади.
Общая суммарная неопределённость для опорных эталонных плиток при коэффициенте покрытия от 2, колеблется между 0,2 – 0,6 мкм, в зависимости от толщины плитки. Эта неопределённость включает в себя неопределённость первичных эталонных измерительных блоков.
Точность первичных эталонов
Измерительные блоки откалиброваны в Техническом научно-исследовательском институте Швеции с помощью интерферометрического метода, контролепригодного в соответствии с международным определением длины. Калиброванные длины имеют расширенную погрешность ± 0,03 мкм с коэффициентом охвата 2.